針對不同的研究對象，常常需要采用不同的研究手段，對于薄膜材料的結構或成分分析的研究也如此。對于早期的光學涂層薄膜材料，人們對其研究主要涉及薄膜的厚度、均勻性以及它的光學性能。在電子技術發展以后，人們對薄膜的研究相應地擴展到了薄膜的各種結構特征、成分分布、界面性質以及光學性質。目前，隨著薄膜材料運用的多樣化，其研究手段和對象也越來越廣泛。特別是在對各種微觀物理現象利用的基礎上，發展出了一系列新的薄膜結構和成分的分析手段，這為薄膜材料的深人研究提供了現實的可能性。