薄膜結構與沉積原子的人射方向也有關。原子人射角的大小對薄膜結構有很大影響，使薄膜產生各向異性。隨著結晶顆粒的增大，而入射的沉積原子就逐漸沿著原子的人射方向長大，于是會產生所謂的自身影響效應，從而使薄膜表面出現(xiàn)凹凸不平，缺陷較多，并出現(xiàn)各向異性。這種沿原子人射方向生長的傾向，在人射角越大時，表現(xiàn)得越嚴重。